质谱室里的灯丝发射出来的电子，在室内来回地振荡，并与室内气体和经漏孔进入室内的---气相互碰撞使其电离成正离子，这些---离子在加速电场作用下进入磁场，由于洛伦兹力作用产生偏转，形成圆弧形轨道，改变加速电压可使不同的离子通过磁场和接收缝到达接收极而被检测。将这种气体喷到接有气体分析仪（调整到仅对---气反应的工作状态）的被检容器上，若容器有漏孔，则分析仪即有所反应，从而可知漏孔所在及漏气量大小。---气检漏仪特有的清---系统，---地清除超标的---本底，---检测的稳定性和准确性；实时监测---气压力和浓度，---了工件检测的精度；

测试时，将定量的---气喷吹在怀疑可能泄漏的部位，通过观察检漏仪上的漏率显示来确定该部位是否存在泄漏及泄漏程度的大小。由于真空系统比较庞杂，影响真空的因素多，对此我们在试验前，应先根据真空严密性的试验情况、相关系统及设备的运行情况、机组的检修情况等进行了解分析，初步判断真空泄漏可能发生的设备或系统管道的位置。然后，在试验过程中先对重点怀疑泄漏部位进行检查，再对其他部位按照分系统、分段、逐个设备部件进行---。

仪器工作在稳定的状态，在仪器的检漏口喷一定量的---气， 分别采取持续抽、空气清---、氮气清---的清---方式，仪器再按开始键，记录清---所需时间。而通过实验表明，利用氮气来清---的效率是高的。 鉴于仪器在检漏的过程中氮气清---的---性，对仪器的系统进行改进。增加清---电磁阀。在---质谱检漏仪中增加氮气清洗设置，有效的避免了在检漏过程中，---气残留对仪器检测灵敏度的影响，另外仪器控制中还可以增加大漏保护设置，即仪器在检测到大漏时，仪器自动停止，防止大量---气再进入仪器中。再者将前级泵换成干泵也是---的选择，利于对仪器的清---，---仪器检测的高灵敏度。

---质谱检漏仪是用示踪气体---气的专门用于检漏的仪器，它性能稳定，灵敏度高，是真空检漏技术中较成熟的设备，使用比较普遍的检漏仪。为工厂作业人员的安全以及环境保护，---质谱检漏仪成为化工管道检漏的的选择。---质谱检漏设备因---比空气轻，因此要注意检漏的顺序，检查顺序应依照由下而上， 由近而远的顺序进行。对检漏方法的要求：稳定性好，即可以在足够长时间内灵敏度；所用“示踪气体”在空气中含量低，---，不腐蚀零件；