




真空检漏的具体方法为了方便说明真空检漏方法,我们以真空炉为例进行真空检漏。真空炉主要由机械泵、罗茨泵、扩散泵、前级管路、炉体等几部分组成。真空炉的生产中为常见问题是---压力合格,而升压率不合格,或者是两者都不合格,比较少见的是升压率合格但---压力不合格。(1)---压力合格,升压率不合格---压力合格说明设备没有明显漏点,vs---质谱检漏仪,且真空系统的抽气性能正常。升压率不合格,主要原因是从粗抽阀到炉体有-些较小的漏点,通常在1x10-9~9.9x104pa.m3/s之间。
对于分装或总装,采用吸入法。被检工件冲入----氮混合气体,利用被检工件装配面或疑是漏点进行找漏。检漏仪显示数值超过规定值即为有漏。对于体积较大的工件,采用背压发,按照工件体积的大小---不同大小的检漏罐。通常把被检工件冲入0.6mpa的纯---或---(含量30%)-氮混合气体,然后放入检漏罐中。漏孔距离质谱室的距离检漏仪反应时间也不同,所以喷---气应先从靠近检漏仪的一侧开始由近至远进行。
实验程序中明确规定了密封继电器的检漏条件及步骤,本次主要讨论背压法检漏属于检漏步骤中的细检漏。继电器的背压检漏法一般分为三步: 1加---压:将被检继电器放入充---的压力罐中; 2净化:从压力罐中取出继电器,用氮气流或者空气流吹净继电器表面吸附的---气。3检漏:将继电器放入检漏仪的检漏盒中进行检测,若继电器有漏,压入内腔的---气会经过漏孔进入检漏仪,仪器上会有漏率显示。
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