检漏设备：质谱检漏仪之间使用金属软管连接。---质谱检漏仪应在校验后使用并在检漏期间每 1- 2 小时校验。检漏的方式是：链接被检化工管道和真空泵组以及---质谱检漏仪，用真空泵组把管道抽真空，达到一定真空度。---质谱检漏主要领域：航空航天——燃料箱、油箱、及各种电机等；仪表制造——压力传感器、阀门、波纹管和密封焊接件等。
---质谱检漏仪用于对容器或器件的密封性进行检测，对被检件泄漏点进行定性、定量和定位的检测。仪器利用内置的真空系统，将被检气体抽入到仪器内部，然后将该混合气体离化，汽车行业---检解决方案，并将离子加速送入磁场当中，利用带电离子在磁场中的偏转效应，使---离子与其它离子分离，通过对此---离子信号的接收、放大和显示，从而反映出被测器件的密封性。
真空检漏的具体方法为了方便说明真空检漏方法，我们以真空炉为例进行真空检漏。真空炉主要由机械泵、罗茨泵、扩散泵、前级管路、炉体等几部分组成。真空炉的生产中为常见问题是---压力合格，而升压率不合格，或者是两者都不合格，比较少见的是升压率合格但---压力不合格。(1)---压力合格，升压率不合格---压力合格说明设备没有明显漏点，且真空系统的抽气性能正常。升压率不合格，主要原因是从粗抽阀到炉体有-些较小的漏点，通常在1x10-9~9.9x104pa.m3/s之间。
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