---质谱检漏仪为气体工业名词术语，用---气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测---气而进行检漏的质谱仪。一般检漏都采用---气(he)作为示漏气体，但也有用氢气(h)作为示漏气体的，考虑到它的化学性质及危险性，在应用中较少使用，所以实际大部分检漏使用的都是---气。---气检漏仪特有的清---系统，---地清除超标的---本底，---检测的稳定性和准确性；实时监测---气压力和浓度，---了工件检测的精度；
检漏仪对示漏气体的要求：在空气环境中含量尽可能少且组分基本恒定的气体，满足检漏灵敏度方面的要求，减少本底干扰检测的准确性。---质谱检漏仪主要技术指标：1. 小可检漏率：5×10-12pa·m3/s。2. 漏率显围：1×10-3—1×10-12pa·m3/s---气检漏仪可对使用过程中产生的浓度不合格---气进行提纯，---降低---气损耗（功能可选）。
---气检漏仪可对使用过程中产生的浓度不合格---气进行提纯，---降低---气损耗（功能可选）；检漏仪启动时间：≤5min。响应时间：≤1s检漏口的。高压力：1500pa。电源要求：220v，50hz，充---回收系统，单相，10a。工作环境：5-35℃检漏仪自动化程度高：自动校准---峰，自动调节零点，量程自动转换，自动数据处理，可外接打印机。---质谱检漏仪由微机控制，菜单的选择功能，一个按钮即可完成一次的全检漏过程。
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