真空检漏的具体方法为了方便说明真空检漏方法，我们以真空炉为例进行真空检漏。真空炉主要由机械泵、罗茨泵、扩散泵、前级管路、炉体等几部分组成。真空炉的生产中为常见问题是---压力合格，而升压率不合格，或者是两者都不合格，比较少见的是升压率合格但---压力不合格。(1)---压力合格，升压率不合格---压力合格说明设备没有明显漏点，且真空系统的抽气性能正常。升压率不合格，主要原因是从粗抽阀到炉体有-些较小的漏点，通常在1x10-9~9.9x104pa.m3/s之间。
一般检漏都采用---气(he)作为示漏气体，但也有用氢气(h)作为示漏气体的，考虑到它的化学性质及危险性，在应用中较少使用，所以实际大部分检漏使用的都是---气。---气检漏仪可同时检测多工件，并能按照需求自动判断出具体的有漏工件；定制的的密封接头，减少误判。主要配置：检漏仪分子泵。机械泵或者干泵。定制检漏仪电磁阀。内置标准漏口。 放大器。质谱模块。
---质谱检漏仪使用---气作为示踪气体，---是单原子稀有气体分子，在空气中的含量(5.2ppm)，电力行业检漏厂家， 无色、无味，常温下为气态的惰性气体，极不活泼，既不能燃烧，也不助燃，化学性能稳定。在检测器件的密封性能时，遇到器件大漏时，有大量的---气进入---质谱检漏仪，短时间内仪器内部---气难以清除，造成仪器的本底升高，仪器的检测灵敏度降低，影响仪器的再次检测精度。
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