---质谱检漏法由于其高的灵敏度、方法的多样性、对各种试件的适应性以及无破坏性，使其广泛应用。---质谱检漏设备应在施工工作完成后进行本测试，测试完成后不得进行焊缝的修磨等。若设备被浸湿或有残余的液体都会影响毛细管的泄漏而影响测试结果的真实性。---质谱检漏仪是用示踪气体---气的专门用于检漏的仪器，它性能稳定，灵敏度高，真空检漏系统，是真空检漏技术中较成熟的设备，使用比较普遍的检漏仪。为工厂作业人员的安全以及环境保护，---质谱检漏仪成为化工管道检漏的的选择。
检漏步骤为:若步骤1和2均未检出漏点，就要考虑各个真空泵性能的问题，首要检查机械泵油、罗茨泵油是否缺少，如果泵油缺少会---降低泵的抽气性能，其次检查机械泵的阀片，通过向机械泵排气口喷吹---气来检测其阀片的密封性。扩散泵油或扩散泵加热器异常也会造成---压不合格。还应检查真空计是否准确以及真空系统设计是否满足技术要求。
对检漏方法的要求：稳定性好，即可以在足够长时间内灵敏度；所用“示踪气体”在空气中含量低，---，不腐蚀零件；---质谱检漏主要领域：空调制冷工业——压缩机、冷凝器、蒸发器及阀门等；真空科学与工业——泵、阀门、真空规管以及镀膜机、真空炉等真空系统；对于容积较小的部件，如波纹管、各种充气接头和气管焊接件等，采用---罩法被检工件抽空，检漏仪调到漏率（10-11pa.m3/s），然后对---罩冲---。
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