




检漏步骤为:若步骤1和2均未检出漏点,就要考虑各个真空泵性能的问题,首要检查机械泵油、罗茨泵油是否缺少,如果泵油缺少会---降低泵的抽气性能,其次检查机械泵的阀片,通过向机械泵排气口喷吹---气来检测其阀片的密封性。扩散泵油或扩散泵加热器异常也会造成---压不合格。还应检查真空计是否准确以及真空系统设计是否满足技术要求。
消费者应用这种---质谱检漏仪能够从---上---这种产品拥有---的应用价值,在我国更多的产品漏率检查之中原先---的技术支持,因此---质谱检漏仪的优势更---了我国产品漏问题检查的。检漏仪全无油的干式检漏:有些生产的检漏仪,可采用干式泵,达到无油蒸气的效果,为无油系统及芯片等半导体器件的检漏,提供了有利条件。---质谱检漏方法在真空检漏技术领域里已经得到广泛的应用,这种方法的优点是:检漏灵敏度高,可以检漏到10 -11 pam3 / s 数量级,仪器响应快,
仪器工作在稳定的状态,在仪器的检漏口喷一定量的---气, 分别采取持续抽、空气清---、氮气清---的清---方式,空调压缩机检漏,仪器再按开始键,记录清---所需时间。而通过实验表明,利用氮气来清---的效率是高的。鉴于仪器在检漏的过程中氮气清---的性,对仪器的系统进行改进。增加清---电磁阀。在---质谱检漏仪中增加氮气清洗设置,有效的避免了在检漏过程中,---气残留对仪器检测灵敏度的影响,另外仪器控制中还可以增加大漏保护设置,即仪器在检测到大漏时,仪器自动停止,防止大量---气再进入仪器中。再者将前级泵换成干泵也是---的选择,利于对仪器的清---,---仪器检测的高灵敏度。
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