---质谱检漏仪使用---气作为示踪气体，---是单原子稀有气体分子，在空气中的含量(5.2ppm)， 无色、无味，常温下为气态的惰性气体，极不活泼，既不能燃烧，也不助燃，化学性能稳定。在检测器件的密封性能时，真空---式检漏系统，遇到器件大漏时，有大量的---气进入---质谱检漏仪，短时间内仪器内部---气难以清除，造成仪器的本底升高，仪器的检测灵敏度降低，影响仪器的再次检测精度。
通过外部检漏通常都会解决，但在多遍检漏后问题若是仍然存在，我们就应该考虑是否存在内部漏点。笔者发现，内漏大多来源于各种充气阀。若要验证，可以在阀门保持关闭的状态下，将阀门的保护气体一端法兰打开- -缝隙，充入---气检查是否漏气，若不漏气，再将阀门连接好后立即充入保护气体到管路中，如果这时检漏仪漏率值上升，那么就可以确定充气阀泄漏是真空指标不合格的原因。
质谱室里的灯丝发射出来的电子，在室内来回地振荡，并与室内气体和经漏孔进入室内的---气相互碰撞使其电离成正离子，这些---离子在加速电场作用下进入磁场，由于洛伦兹力作用产生偏转，形成圆弧形轨道，改变加速电压可使不同的离子通过磁场和接收缝到达接收极而被检测。将这种气体喷到接有气体分析仪（调整到仅对---气反应的工作状态）的被检容器上，若容器有漏孔，则分析仪即有所反应，从而可知漏孔所在及漏气量大小。---气检漏仪特有的清---系统，---地清除超标的---本底，---检测的稳定性和准确性；实时监测---气压力和浓度，---了工件检测的精度；
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