---质谱检漏仪主要技术指标：1. 小可检漏率：5×10-12pa·m3/s。2. 漏率显围：1×10-3—1×10-12pa·m3/s---质谱检漏仪不会受到主观因素判断的影响；检测的数据；自动生成数据保存，可追溯数据来源。---气检漏仪关键零部件集优采购，---了系统的稳定性和---性；真空箱内---气本底抑零，---了检漏的准确性、；
检漏步骤为:若步骤1和2均未检出漏点，就要考虑各个真空泵性能的问题，首要检查机械泵油、罗茨泵油是否缺少，如果泵油缺少会---降低泵的抽气性能，其次检查机械泵的阀片，leyss检漏仪，通过向机械泵排气口喷吹---气来检测其阀片的密封性。扩散泵油或扩散泵加热器异常也会造成---压不合格。还应检查真空计是否准确以及真空系统设计是否满足技术要求。
我们应用此检漏技术对发电厂机组汽轮机进行了真空系统检漏，效果---。应用---质谱检漏仪对发电厂汽轮机真空系统进行检漏一般包括真 空法和吸法。本次对发电厂机组进行的真空系统检漏测试试验采用吸法。机组正常运行时，真空系统内部处于负压状态，空气通过漏点被吸入凝汽器，终通过水环真空泵抽出，经过气水分离器从排气口排至---。测试前，将---质谱检漏仪测试口与吸探头通过吸气线连接，并将吸探头装设在分离器排气口处，启动---质谱检漏仪，待检漏仪经过自检程序启动完毕，即可进入试验待检状态。
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