---质谱检漏仪是用示踪气体---气的专门用于检漏的仪器，它性能稳定，灵敏度高，是真空检漏技术中较成熟的设备，使用比较普遍的检漏仪。为工厂作业人员的安全以及环境保护，---质谱检漏仪成为化工管道检漏的的选择。---质谱检漏设备因---比空气轻，因此要注意检漏的顺序，检查顺序应依照由下而上， 由近而远的顺序进行。对检漏方法的要求：稳定性好，即可以在足够长时间内灵敏度；所用“示踪气体”在空气中含量低，---，不腐蚀零件；
---气是较轻的惰性气体，在喷出时会自动上升，为了准确找到漏孔位置喷---，使用此方法时喷---自上而下，由近至远（相对检漏仪的位置），这是因为在下方时有可能被上方漏孔吸入；质谱检漏仪之间使用金属软管连接。---质谱检漏仪应在校验后使用并在检漏期间每 1- 2 小时校验。常用的传统气体管道检漏方法，如气泡法和肥皂法在化工厂等有害气体的管道检漏不实用，检测到微漏的---质谱检漏仪成为了化工厂安全生产作业的保障。
---质谱检漏仪为气体工业名词术语，用---气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测---气而进行检漏的质谱仪。一般检漏都采用---气(he)作为示漏气体，但也有用氢气(h)作为示漏气体的，考虑到它的化学性质及危险性，电力行业检漏设备，在应用中较少使用，所以实际大部分检漏使用的都是---气。---气检漏仪特有的清---系统，---地清除超标的---本底，---检测的稳定性和准确性；实时监测---气压力和浓度，---了工件检测的精度；
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