---检漏系统主要用于检测真空设备或容器中的微量泄漏，以---其密封性能。其中一种常用的方法是使用超声波法进行测量的原理。
具体来说：当声源（通常为20khz）发出的超声信号进入被测试的物品后发生反射和折射现象返回给；如果存在微小泄露物时就会在物体表面形成驻留压力场，产生一个与该物体的温度、湿度以及---压紧密相关的声音振荡频率即回音或者说是杂散噪声；通过测量这种由可听声组成的复合噪音的大小即可得知相应的漏洞大小。
---质谱检漏系统是一种高灵敏度的泄漏检测设备，adixen---气检漏仪，利用了---气的流动性和大于氮气、氧气等气体这一特性。
该系统的是he特性的性及n2-ar混合物的配比关系，对于压力范围0.5~8---压，在很小的泄露量下就能探测出来（小于1pa·m3/s）。此外还配备了真空泵对测试工件进行抽空处理，将工作空间的工作压力降低到规定的要求参数值内；电器控制系统负责整个试验过程的操作和调节控制；而示差式电路不但能根据被测样品放出的低频成分来校正测量结果而且还能使仪表具有自动反吸功能。
---质谱检漏系统是一种高灵敏度的气体检测仪器，主要用于探测微量的泄漏物质。其工作原理是利用高压电离室产生的高压离子束轰击惰性气体（如he）分子，使它们解离并释放出正、负粒子或电子，形成原子簇模型——由大量的单核和双核对许多具有一定能量的自由玻尔态的束缚粒子和游离电子组成的微观体系结构；这些带有一定能量的状态在一定的空间范围内存在着库仑场分布不均匀而受到激发时就会发射特征x射线作为示踪信号源来检查工件上的气密性和确定缺陷的位置及大小。
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