





---质谱检漏系统是一种高灵敏度的泄漏检测设备,主要用于真空系统中微小渗漏的查找和定位。它主要由主机、进气管道组件、离子源、收集极、高压电源、探测器等部分组成。
该系统的功能是利用高速流动的高纯度惰性气体(通常是氮或)流将待测区域与外部环境隔离,如果存在泄的话,那么在压力梯变的影响下空气中的分子会从有缝隙的地方跑出去形成气泡,从而产生声学信号或者叫作粒子束,通过测量这个声音可以确定具体的漏洞位置以及大小等信息。这种技术对各种材料均不敏感而且对于很小的体积也可以进行准确的测定,电力行业检漏解决方案,因此广泛应用于半导体工业中硅片芯片封装环境的监测以防止晶圆损伤;也应用于---集成电路生产线上检查每个密封件是否有缺陷。

---质谱检漏仪是一种用于检测和测量容器和管道内部气体泄漏的仪器。它使用高能电离粒子轰击气体样品,使其离子化,并通过质谱仪测量离子的,从而检测出气体的泄漏。该系统通常由气体检测器、质谱仪、数据采集和处理系统等组成。检漏仪可以检测到微小的气体泄漏,对于液体和气体混合物的泄漏检测也有较高的灵敏度。该仪器广泛应用于石油、化工、制药、电力等行业,用于监测和防止气体泄漏事故的发生。

---质谱检漏系统是一种高灵敏度的气体检测仪器,它利用了带电粒子在磁场中偏转的原理来识别不同原子量的气体。其工作过程如下:首先将待测容器充入惰性气体(主要是氮气),然后将管路接通真空泵进行抽空处理;接着打开进样阀使被探测的气体进入静电引弧极间形成辉光放电而被离子化、激发而产生正负电子流;之后由稳压电源供给高压于阴板和阳板---别收集这些自由电子并维持两板的导电回路闭合电路;通过测量出电流强度即可确定泄漏率的大小或样品中的分数含量。
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