---质谱检漏仪使用---气作为示踪气体，---是单原子稀有气体分子，在空气中的含量(5.2ppm)， 无色、无味，常温下为气态的惰性气体，极不活泼，既不能燃烧，也不助燃，化学性能稳定。在检测器件的密封性能时，遇到器件大漏时，有大量的---气进入---质谱检漏仪，短时间内仪器内部---气难以清除，电力行业检漏厂，造成仪器的本底升高，仪器的检测灵敏度降低，影响仪器的再次检测精度。
为了避免事故的发生，化工厂商在投建厂房时就应该对化学管道和设备做气密检漏并且后期生产中也需要定期检漏。对检漏方法的要求：稳定性好，即可以在足够长时间内灵敏度；所用“示踪气体”在空气中含量低，---，不腐蚀零件；使用---气喷在管道密封接头，焊缝处喷---，如果被检管道某处有泄漏，当---喷到漏孔上时，---气会---被吸入到真空系统，从而扩散到质谱室内，---质谱检漏仪感应到---就会---有响应。从而达到了检漏的结果。
检漏步骤为:---压力、升压率都不合格这种情况通常存在大于等于9.9x 10-4pa.m3/s的较大漏点，检漏步骤为: .1.用内径0.5mm左右的针头从机械泵到炉体快速的喷吹一遍，会很快发现漏点，这时发现的漏点都较大，然后应立即焊接处理或用封泥封堵，- 旦封堵成功，真空度和检漏仪灵敏度会明显提高。2.第二遍检漏，进行第二遍检漏时速度要较遍慢些， 重点检查表面不规整的焊口、法兰接缝处、动密封处、热电偶密封、电极、线圈、水套、各种胶圈处等部位。具体步骤与---压力不合格、升压率合格的检漏方法相同。
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