仪器工作在稳定的状态，在仪器的检漏口喷一定量的---气， 分别采取持续抽、空气清---、氮气清---的清---方式，仪器再按开始键，记录清---所需时间。而通过实验表明，利用氮气来清---的效率是高的。鉴于仪器在检漏的过程中氮气清---的性，对仪器的系统进行改进。增加清---电磁阀。在---质谱检漏仪中增加氮气清洗设置，有效的避免了在检漏过程中，---气残留对仪器检测灵敏度的影响，另外仪器控制中还可以增加大漏保护设置，高压开关检漏，即仪器在检测到大漏时，仪器自动停止，防止大量---气再进入仪器中。再者将前级泵换成干泵也是---的选择，利于对仪器的清---，---仪器检测的高灵敏度。
---质谱检漏仪是根据质谱学原理，用---气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。检漏仪自动化程度高：自动校准---峰，自动调节零点，量程自动转换，自动数据处理，可外接打印机。---质谱检漏仪由微机控制，菜单的选择功能，一个按钮即可完成一次的全检漏过程。检漏仪高压强下检漏：检漏口压强可---数百帕左右，对检测大系统和有大漏的工件很有益。
检漏步骤为:若步骤1和2均未检出漏点，就要考虑各个真空泵性能的问题，首要检查机械泵油、罗茨泵油是否缺少，如果泵油缺少会---降低泵的抽气性能，其次检查机械泵的阀片，通过向机械泵排气口喷吹---气来检测其阀片的密封性。扩散泵油或扩散泵加热器异常也会造成---压不合格。还应检查真空计是否准确以及真空系统设计是否满足技术要求。
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