kyky---质谱检漏仪-安徽伽德罗,精益---

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    2023-8-13

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真空检漏的具体方法为了方便说明真空检漏方法,我们以真空炉为例进行真空检漏。真空炉主要由机械泵、罗茨泵、扩散泵、前级管路、炉体等几部分组成。真空炉的生产中为常见问题是---压力合格,而升压率不合格,或者是两者都不合格,比较少见的是升压率合格但---压力不合格。(1)---压力合格,升压率不合格---压力合格说明设备没有明显漏点,且真空系统的抽气性能正常。升压率不合格,kyky---质谱检漏仪,主要原因是从粗抽阀到炉体有-些较小的漏点,通常在1x10-9~9.9x104pa.m3/s之间。



---质谱检漏仪是如何工作的?---质谱检漏仪由离子源、分析器、、真空系统、电子线路及其他电气部分组成。为了方便解释---质谱检漏仪是如何工作的,我们以磁偏转型的---质谱检漏仪为例进行说明。在质谱室的离子源n内,气体被电离成离子。在电场作用下离子---成東,并以-定的速度经由缝隙s1进入磁分析器,在均匀磁场的作用下,具有-定速度的离子束,将按圆形轨迹运动。调节加速电压u使---离子束m z恰能通过缝隙s2到达收集极k而形成离子流。利用弱电流量测设备,使之在输出仪表与音响装置上反映出来。而其他不同于m2的离子束则以不同的偏转半径而被分开。



检漏步骤为:若步骤1和2均未检出漏点,就要考虑各个真空泵性能的问题,首要检查机械泵油、罗茨泵油是否缺少,如果泵油缺少会---降低泵的抽气性能,其次检查机械泵的阀片,通过向机械泵排气口喷吹---气来检测其阀片的密封性。扩散泵油或扩散泵加热器异常也会造成---压不合格。还应检查真空计是否准确以及真空系统设计是否满足技术要求。



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